60-70L / H 흐름율 산소 식물 예비 품목 저온 액체 산소 펌프

60-70L / H 흐름율 산소 식물 예비 품목 저온 액체 산소 펌프

1. 묘사

cryopump 또는 “저온 펌프”는 찬 표면에 그(것)들을 집광해서 수증기와 가스를 덫을 놓는 진공 펌프이고, 그러나 약간 가스에서만 효과적입니다. 효과는 cryopump의 온도에 관련된 가스의 어는 및 비등점에 달려 있습니다. 그들은 때때로 유포 펌프, 또는 McLeod 계기의 앞에 특정한 backstreaming 물을 밖으로 지키기 위하여 기름을 덫을 놓도록 오염물질을, 예를 들면 막도록 이용됩니다. 이 기능에서는, 그들은 비록 육체적인 기계장치가 cryopump를 위해와 동일이더라도, cryotrap, waterpump 또는 찬 함정이라고 칭합니다.

Cryotrapping는 또한 분자가 실제로 얼기지 없이 찬 표면에 그들의 거주 시간을 증가시킬 약간 다른 효력을 나타날 수 있습니다, (과냉). 표면에 충돌하고 그것에서 되돌아오는 분자 사이 지연이 있습니다. 운동 에너지는 분자가 감속한 대로 분실될 것입니다. 예를 들면, 수소는 8 켈빈에 집광하지 않을 것입니다, 그러나 cryotrapped 할 수 있습니다. 이것은 효과적으로 분자를 장기간 덫을 놓고 cryopumping 같이 진공 환경에서 그로 인하여 다만 제거합니다.

2. 가동

Cryopumps는 압축 헬륨에 의해 일반적으로 그들이 또한 드라이 아이스, 액체 질소를 이용할지도 모르다, 독립 버전이 붙박이 cryocooler를 포함할지도 모르다, 냉각됩니다. 배플은 찬 머리에 수시로 응축을 위해 유효한 표면을 확장하기 위하여 붙어 있습니다, 그러나 이들은 또한 cryopump의 발광하는 열 통풍관을 증가합니다. 시간이 지남에 따라, 표면은 응축물로 결국 포화시키고 이렇게 양수 속도는 0에 점차적으로 떨어집니다. 그것은 차게 남아 있을 한 덫을 놓은 가스를 붙들 것입니다, 그러나 회생될 때까지 누출 또는 backstreaming에서 신선한 가스를 집광하지 않을 것입니다. 포화는 낮은 진공에서 아주 빨리 일어납니다, 그래서 cryopumps는 높은 극초단파 진공 체계에서 보통 단지 이용됩니다.

cryopump는, 10^−3에서에 있는 모든 가스의 청결한 양수 10의⁻⁹ Torr 배열합니다 빨리 제공합니다. cryopump는 원리를 수술해, 가스가 매우 낮은 증기압으로 집광되고 붙들릴 수 있다 고속과 처리량을 달성하. 찬 머리는 이단식 찬 맨 위 실린더 (진공 배의 부속) 및 드라이브 단위 displacer 집합으로 이루어져 있습니다. 이들은 60에서 첫번째 단계 찬 역을 위한 80K에에 10 두번째 단계 찬 역을 위한 20K에 배열하는 온도에 함께 닫히 주기 냉각을, 전형적으로 일으킵니다.

약간 cryopumps에는 외부 단계가 각종 저온에 다수 단계가, 가장 찬 안 단계를 보호하는 상태에서 있습니다. 외부 단계는 물과 기름과 같은 최고 비등점 가스를 집광해 따라서 질소와 같은 더 낮은 비등점 가스를 위한 안 단계의 표면과 냉각 수용량을 저장하.

드라이 아이스, 액체 질소, 그 후에 때 냉각 온도가 줄이는 때 압축 헬륨을 사용하는, 더 낮은 분자량 가스는 덫을 놓을 수 있습니다. 덫치기 질소, 헬륨 및 수소는 매우 낮은 온도 (~10K) 및 큰 표면을 아래 보이는 바와 같이 요구합니다. 이 온도에 조차, 등불용 가스에는 헬륨 및 수소에는 아주 낮은 덫치기 효율성이 있고 극초단파 진공 체계에 있는 우위한 분자입니다.

Cryopumps는 수착 펌프도 활성화된 목탄 비석과 같은 높게 흡착시키는 물자로 찬 머리를 입혀서 수시로 결합됩니다. 흡수제가 포화시키는 때, 수착 펌프의 효과는 줄이고, 그러나 outgas에 비석 물자를 (가급적이면 저압의 조건 하에서) 가열해서 그것 재충전될 수 있습니다. 비석 물자의 다공성 구조의 고장 온도는 재생을 위해에 가열될지도 모르다 최고 온도를 제한할지도 모릅니다.

수착 펌프는 저압은 끝마무리 펌프를 사용하여 (달성되는 그러나, 0.1 Pa (10의⁻³ Torr)의 순서에로 대기의 범위에서 압력을 감소시키기 위하여 등경 펌프로 자주 사용하는 cryopump의 유형입니다 진공을 보십시오).

3. 재생

cryopump의 재생은 덫을 놓은 가스 증발의 과정입니다. 재생 주기 도중, cryopump는 실내 온도에 또는 더 높은 데워져, 고체에서 기체 국가에 바꾸고 그로 인하여 대기권으로 cryopump에서 압력 안전 밸브를 통해서 풀어 놓이는 것을 덫을 놓은 가스가 허용하.

cryopump를 이용하는 최대 생산 설비에는 진공 약실에서 cryopump를 고립시키는 방법이 있습니다 그래서 재생은 수증기와 같은 풀어 놓인 가스에 진공 체계를 드러내기 없이 일어납니다. 수증기는 진공 약실 벽 노출에에서 단층 대형과 수소 접합 때문에 대기권에 제거할 것이다 가장 단단한 자연적인 성분 입니다. 건조한 질소 퍼지 가스에 열을 추가하는 것은 워밍업을 속력을 내고 재생 시간을 감소시킬 것입니다.

재생이 완전하 때 cryopump는 고립된 50μTorr (50 microtorr)에 roughed, 비율의 상승 (ROR)는 완전한 재생을 위해 시험하기 위하여 감시될 것입니다. ROR가 10μTorr/min를 초과하는 경우에 cryopump는 추가를 깨끗이 합니다 시간을 요구할 것입니다.